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芯片制造关键设备再突破！离子注入机实现全谱系产品国产化
来源： 新华社 作者： 发布时间： 2021-03-17

3月17日，中国电子科技集团有限公司对外公布，该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术，已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为我国芯片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。（记者温竞华）

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